如果将氦(He)氖(Ne)激光作为代气体激光，二氧化碳激光是第二代气体激光，在半导体制造领域将大量使用的氟化氪(KrF)激光，可称为第三代激光。气体激光器的重要特点之一，激光工作物质是混合气或单一纯气体因此，对激光混合气组分的纯度有着特殊要求，包装混合气的钢瓶，充装前也必须进行干燥处理，防止污染混合气。稀有气体离子激光中，以氩离子激光及氪离子激光为常见。除了直接使用之外，氩离子激光常以其紫外线及蓝绿光激起染料激光。
激光切割机所用气体的种类和作用：1）空气：①作为切割气体使用 ②作为冷却切使用 ③作为光路内部除尘使用（保护镜片延长镜片的使用时间）2）普氧：作为切割碳钢的气体（助燃性）纯度99.5%3）纯氮：作为切割不锈钢的气体（冷却性）纯度99.9%（切割碳钢速度为3/4） 4）高纯氮：作为激光器的使用气体，纯度：99.999%5）高纯氦：作为激光器的使用气体，纯度：99.999%6）高纯二氧化碳：作为激光器的使用气体，纯度：99.999% ；气体激光器的重要特点之一，激光工作物质是混合气或单一纯气体因此，对激光混合气组分的纯度有着特殊要求，包装混合气的钢瓶，充装前也必须进行干燥处理，防止污染混合气。目元激光混合气体的佳方案组成比例：CO:4%,CO2：8%,He:28%,N2:60%。这种四元激光混合气体可以是二维激光切割机床达到输出功率，并且大切割钢板厚度达到25mm，还可以更好的保证工件质量。
激光混合气中的发生气体是激光发生器上用来产生激光的气体，对气体质量要求高，激光混合气配制精度要求高，高纯二氧化碳纯度达99.999%，高纯氮气的纯度99.999%，高纯氦气的纯度要求99.999%，二氧化碳是产生激光的，氦气是冷却激光器的，氮气是平衡气体，气体中的水分、氧份、有机气体杂质对激光机的镜片损伤特别大，能快速减少镜片的寿命。所以激光机对这些气体的质量要求特别高。稀有气体离子激光中，以氩离子激光及氪离子激光为常见。除了直接使用之外，氩离子激光常以其紫外线及蓝绿光激起染料激光。常用的激光焊接保护气体主要有N2、Ar、He，其物化性质各有差异，也因此对焊缝的作用效果也各不相同。
激光切割领域较长使用的二氧化碳激光混合气体，这里二氧化碳就是产生激光作用的主导气体。二氧化碳激光混合气体目前存在切割线粗，毛边多，并且切割钢板的厚度很有限，一般都在10mm左右。稀有气体离子激光中，以氩离子激光及氪离子激光为常见。除了直接使用之外，氩离子激光常以其紫外线及蓝绿光激起染料激光。CO2激光辅助鼓膜成形术的总体满意，与传统手术相比，该手术方式具有操作简便、创伤小、且可重复进行的优点。