在真空泵维修时，特别是在维修环境不是很好的地方，需要我们的维修人员尽力去保证设备的清洁。另外，要正确选用清洗剂，禁止使用碱性清洗剂，防止零部件腐蚀生锈，尤其是那些精密零部件。另外，铝和铜类零部件不易放在碱性清洗剂中一道清洗，橡胶类零部件不宜和其他钢铁类零部件放在、柴油及酸、碱性清洁剂中一起清洗。
真空泵维修人员在工程机械的维修过程中，要在理解真空设备结构和原理的基础上，对故障原因进行分析，不能盲目得对故障原因下结论，造成新的问题的出现。通过故障分析，不仅可以判断故障的性质和原因，更重要的是可以通过理清故障，提出有效的改进措施。例如爱德华真空泵当发现真空不足时，不查故障原因，盲目调高系统的工作压力，致使损坏油封、管路、液压元件等。
RV 油封式真空旋叶泵
RV 系列旋转式叶片泵基于超过 75 年的经验 和全新设计计划以产生小型油封旋转式叶片泵 的极限范围。
这些 坚固耐用的真空泵提供的极限性能，同时拥有良好的 抽取速度以及出色的蒸汽处理能力，而且运行安静。Edwards RV 系列真空泵已售出超过 200,000 台， 为行业树立了新标准。这一成功基于在广泛的应用和环境中 经过现场验证的设计和可靠性
在真空泵的维修过程中，如果不注意加强对部件表面杂质的清洗，或者清洗方法不当，都会导致零部件的磨损和腐蚀性破坏，从而严重影响维修质量和真空泵维修以后的使用寿命。
真空泵无法启动时要如何维修的问题。真空泵无法启动的问题主要反映为真空泵加电后不能启动运转。当出现这种情况之后首先检查真空泵的电路部分，查看下电路部分有没有元气件烧坏、保险管是否烧毁等。若电路故障排除就应考虑以下两个因素：旋片被卡阻。若出现这种问题主要表现为旋片变形，转子内的弹簧张开后不能复位，或弹簧压力和旋片自身离心力的合力过大，导致旋片与泵腔内表面的摩擦阻力过大。这时就应及时修复旋片和弹簧，若不能修复则应更换。
应用
真空感应熔炼 (VIM)
精密熔模铸造 (PIC)
真空电弧精炼 (VAR)
真空镀膜
电子束焊接
真空烧结
钢脱气
硬化
等离子和 LP 氮化
LP 渗碳
真空铜焊
粘辊
玻璃涂层
滤光片和镜头
真空喷镀
硬盘和光盘母版制作
变压器、电容器和电缆
皮革
辛香料和芳香剂
核工业
真空腔修整
太阳能电池生产
真空泵维修真空泵常规问题修复，就是指在真空泵出现问题后的处理方法。维修问题分为很多，一般未达到报废情况都可以进行修复。既然是的进行修复就不仅仅是简单的拆开、更换耗材再组装起来。真空泵有很多狠心的维修技术，其中主要的就是间隙的调整。不管是真空泵叶片卡死、缸体磨损、真空泵真空度不足、噪音异常都属于一般真空泵维修。如果真空泵出现缸体爆裂、或者其他比较严重的问题时，就得依据损害配件来确定是否可进行维修
泵系列
ES 系列有五种选配型来满足不同要求。 它们可以单独使用，也可以与 EH 系列机械增压泵 （提供从 EH250 到 EH4200 的选配型）配合使用，以便同时提和 极限真空。
ES65
ES100
ES200
ES300
ES630
泵附件
提供一系列附件以 便于控制 ES 泵
油位开关
用于远程监控 油位，以防对泵造成潜在损坏。单独提供或 与 PT100 或 120?C 传感器配合提供。
温度 传感器
用于监控油温的 PT100 和 120?C 温度传感器。
入口 过滤器/入口承接罐
入口过滤器可阻止碎屑进入泵机构，因而可用于大限度地 延长正常运行时间。入口承接罐可保护泵不受大量可冷凝蒸汽 的损害。
应用
目标应用包括：
负载锁
计量
传输腔
灰化/剥离
PVD
主要特性和优势
占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一，EPX 显著节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧，增加了安装 选项。EPX 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和 安装成本，如果需要也可远程使用。
受保护的泵机构 - EPX 可以从大气压抽空到 UHV 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。
超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑，这可能成为制程 工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承油脂，并且不存在 任何其他的潜在污染源。
非常可靠 - EPX 具有大约 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，通常 每 5 年维修一次，地延长了泵的 使用寿命。
运转时的噪声低至 56 dB(A)，可在洁净室内实现低噪声。