根据实际要求，真空电镀加工涂防锈油的主要目的如下：
1、增加金属的磁导率。例如，铁镍涂层是一种良好的磁性涂层，在电子工业中还有其他用途。增加金属表面的亮度，提高表面的光反射能力，在光学仪器中有着广泛的应用，修复金属零件的尺寸，金属化非金属表面。
2、获得金属保护层，增加金属的耐腐蚀性。改变金属表面的硬度，增加金属表面的韧性或耐磨性。
3、增加金属表面的导电性，降低表面接触电阻，增加金属的焊接能力。增强金属表面的致密性，防止局部渗碳和渗氮。改变金属表面的颜色，使装饰品美观、赏心悦目和现代。
镀金属膜层,将待镀产品传入装有金属靶材的镀膜腔室,开启泵抽真空及加热装置进行基底加热,使得本底真空达到1×10-3Pa 及达到80-150℃工艺温度后,向腔室通入10-1000sccm的ya气,启动溅射电源,设置溅射功率1-15KW,镀膜时间10-300S,得到厚度为1-100nm的金属膜层,金属膜层为铜(Cu)、银(Ag)、铝(Al)、铬(Cr)等金属膜层,或镍铜(NiCu)、镍铬(NiCr)等合金膜层;
镀低折射率膜层,将镀完金属膜层的产品传入装有可形成低折射率膜层的靶材镀膜腔室,加热达到80-150℃的工艺温度,向腔室通入工艺气体,设置溅射功率1-15KW,镀膜时间1-300S,得到厚度为1-100nm的低折射率膜层,此低折射率膜层为氧化硅、氮化硅等膜层;
真空电镀工艺的损耗
1. 产品形状复杂程度；产品形状越复杂，擦拭除尘和静电除尘的难度就越大，除尘效果会相对变差，从而导致不良率的上升，损耗率上升；
2. 产品外形尺寸的大小；产品外形尺寸越大，则外观面积就越大，相对应的发生外观不良的机率也会越高，损耗率会高；
3. 产品的成品外观验收标准；电镀成品的外观验收标准越严格，真空电镀的良品率就会越低，对应的损耗率也就越高，因此合理的品质要求对真空电镀加工的良品率、损耗率的影响非常重要；
4. 产品的成品信赖性验收标准；电镀成品的信赖性测试要求越高，为了满足测试要求，通常会增加工序的数量或难度，这也会导致整个真空镀膜工艺综合损耗率的升高；
5. 电镀夹具的匹配状况；电镀夹具直接影响到制程的良品率，夹具不合理时，对真空电镀加工工艺的良品率影响非常大，损耗率会变高；
6. 员工对产品的熟练程度；同样一款产品，接触或者试产时，其良品率往往不可能达到理想状态，而经过多次量产的探索总结和改善优化后，产品的真空电镀加工良品率会有很明显的提升；
抽真空系统，目前基本是两种，一种是扩散泵系统，一种是分子泵系统，分子泵系统属于清洁抽气系统，没有扩散泵的返油现象，抽速也相对比较稳定，而且比较省电，电费的支出是镀膜企业生产运营成本中很大的一环。对于泵系统的定期维护是很重要的，特别是润滑油的定期更换，注意油品牌号的选择，选择错误很容易损坏真空泵。
真空检测系统，目前基本都是用复合真空计，热偶规+电离规的组合，这个组合在遇到充入大量含有C元素的气体的工艺，电离规很容易毒化，造成电离规损坏，如果镀制含有大量C元素的气体的工艺，可以考虑，配置电容薄膜规。