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广州潽拓光电科技有限公司--爱发科涡轮分子泵维修及保养维修;
分子泵常见的故障问题:
1、分子泵为何会发生半边热,半边冷的现象?
2、分子泵使用中发现油发黑,请问油为什么会发黑?或者多长时间油才会变黑?
3、分子泵在运转过程中,出现频率从正常下降至一定频率后又恢复到正常,之后又下降至一定频率,再恢复到正常,反反复复,更换电源后现象仍如此,请问该现象如何解释?
4、分子泵轴承为什么会烧毁
5、有防护网保护,为什么还会有大块碎玻璃掉入泵内?
6、真空度很好的情况下,分子泵油为何会返到前级管道?
7、正常使用下,为什么分子泵油池会出现裂纹或者变形?
8、分子泵中经常掉出顶丝、镙钉等物体,如M5的顶丝等,请问是否对分子泵的使用有影响?应如何解决?
9、胶圈口分子泵要用多少卡钳,怎么使用才安全?
10、变频器电源在什么情况下会造成程序丢失或者错乱?
11、分子泵噪音大如何界定?是否有合格标准,是多少?
12、分子泵是否对冷却有明确要求?如果风冷需要外界温度是多少?如水冷则对水有何具体要求?如未达到要求会出现什么后果?
13、分子泵电源存在接地、屏蔽等问题,应如何做才是很佳方式?
14、变频器电源,转速上升过程中就自动关机,即显示“Poff”?
15、分子泵叶片破碎的原因?
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设置为1mT,泵在该磁场下运行12个小时以稳定转子温度;然后关闭磁场,再运行12个小时以使转子降温;然后再分别把磁场设置为2mT,按照前面的步骤继续进行测试,直至磁场增加到7mT。当磁场逐步增加后,被测分子泵转子的平衡温度也随之上升,当磁场强度为7mT时,平衡温度上升到100摄氏度左右(分子泵的很大允许温度为120度)。
另外,使用该测试平台测试了另一台其它品牌的分子泵,一系列的对比测试表明,分子泵在相同的磁场条件下转子的平衡温度明显较低(5mT时,低大约40度)。2020年12月10日,真空推出全新350和450涡轮分子泵,该产品特别适用于质谱分析、电子显微术、测量技术、粒子加速和等离子体物理方面的应用。新产品的应用领域十分广泛,除了用于分析、真空工艺和半导体技术外,还可用于真空镀膜、研发以及工业领域。
350和450性能强大、重量轻且占地面积小。凭借由前级真空侧陶瓷球轴承和高真空侧永磁径向轴承所组成的混合轴承,系列涡轮分子泵的轴承非常坚固,确保了很佳的可靠性。创新性的转子结构设计赋予了该涡轮分子泵诸多优点:对小分子气体的抽吸能力更大、前级真空泵兼容性广泛、气流量高以及对小分子气体的压缩比。由于可以安装在任意所需方向,该系列泵具有的和灵活性。
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“该系列涡轮分子泵具有理想的尺寸功率比。350和450是300至700l/s吸力级别中结构紧凑的大功率涡轮分子泵,针对小分子气体具有的抽吸能力。”真空涡轮分子泵产品经理说道。内置的驱动电子设备在不增加体积尺寸的情况下,提供了包括ProfiNet和EtherCat在内的大量通讯接口。通过遥控和传感器元件可以对泵数据进行分析,实现在运行过程中进行理想的工艺监控。
它的运行噪音低,气体流量大,为真空行业树立了新的标准。该系列的各款泵均已获得SemiS2、UL、CSA和Nema12认证。此外,该系列各款泵均可以在客户现场进行轴承维护和轴承更换,并且均可免维护运行4年。磁场环境对分子泵运行的影响:许多设备在工作时都会产生磁场,比如,家用电冰箱的磁场强度约有10高斯(1mT),MRI()的磁场强度甚至会高达3T;
尽管可以采取屏蔽等措施,仍然可能会有外漏的杂散磁场,对工作在附近的分子泵产生不好的影响。磁场对涡轮分子泵的可能影响当涡轮分子泵的转子在磁场中旋转时,会产生涡流。这些电流倾向于阻碍转子的旋转,并导致电机的功率增大。由于泵转子不与定子接触,涡生的热量和额外的功率主要通过辐射消散。因此,转子可能会过热,即使泵体及其它静止的部件仍然是冷的。
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